基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 超小型加速度计
• 申请日： 1970-08-21
• 申请号/专利号： CN200510026033.4
• 专利权人： 侯斌;刘胜;陈斌
• 申请人： 上海飞恩微电子有限公司
• 分类号： G01P15/12
• 发明人/设计人： 侯斌;刘胜;陈斌
• 公开日/公告日： 1970.08.21
• 优先权号： G01P15/12
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：一种超小型加速度计，主要包括一个加热器，一个热气泡，热电堆和底部空腔，其特征在于所述在硅衬底上设有加热器，和热电堆，采用塞贝克效应将温差转换为电压信号，加速度信号从每个热电堆的差动电压中获取，由梁分布检验块和压敏电阻组成一个Z轴加速度计信号输出，通过引线键合的形式组装。本发明的优点是采用CMOS兼容工艺的微制造技术及玻璃料或阳极键合进行圆片级封装，加速度计具有超小型外形、三维或二维加速度信号输出，制造成本低，灵敏度高。

摘要附图：