基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 梳齿式体硅加工微机械加速度计
• 申请日： 1970-08-21
• 申请号/专利号： CN02103612.8
• 专利权人： 张嵘;曹志锦;王永梁;董景新;袁光;赵长德;马新龙;高钟毓
• 申请人： 清华大学
• 分类号：
• 发明人/设计人： 张嵘;曹志锦;王永梁;董景新;袁光;赵长德;马新龙;高钟毓
• 公开日/公告日： 1970.08.21
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：一种梳齿式体硅加工微机械加速度计属于惯性仪表领域，其结构包括由体加工形成的齿枢、多组动齿和折叠梁组构成的敏感质量元件、定齿偏置的固定齿和基片，电路包括微电容检测、力反馈伺服电路等部分。本发明将面加工梳齿结构通过定齿偏置结构等发展成体加工梳齿结构，增大了检测和加力电容，从而使分辨率和精度大大提高。此外，前置放大器采用低输入阻抗电路，闭环反馈加力采用差动直流电压方式，使仪表达到了较高的精度。

摘要附图：