基本信息
摘要：本发明公开了一种微机械加速度计小电容补偿电路的方法，是一种两步式小电容补偿方法，解决了在集成电路内部无法对小电容进行补偿的不足。通过这种补偿方法，可以实现在集成电路内部对aF量级电容进行准确的补偿。本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：首先对加速度信号进行前级放大并部分补偿电容不匹配。由于信号放大的作用，使得电容不匹配也被放大，从而可在第二级放大部分用较大的电容来补偿较小的电容不匹配值。本发明的有益效果是，可以实现在集成电路内部实现微小电容的补偿（aF量级），从而实现微机械加速度计等电容传感器的精准匹配。
摘要附图：
