基本信息
摘要：本发明公开了一种用于电容式微机械加速度计的温度补偿装置，主要包括相干解调器、低通滤波器和温度补偿电路，相干解调器的输出端与低通滤波器的输入端相连，低通滤波器的输出端与温度补偿电路的输入端相连。本发明利用电容式微机械加速度传感器的内部电容随温度的变化作为加速度计输出信号的补偿参考信号，不需要热敏电阻或集成温度传感器来测量加速度传感器的温度，简化温度补偿装置的结构，降低成本；排除温度测量误差对补偿精度的影响，提高温度补偿精度；且不需在电容式微机械加速度传感器上安装使用温度传感器，避免加速度传感器的金属管壳内因存在温度梯度而造成的温度测量误差，进一步提高温度补偿精度。
摘要附图：
