基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 电容式微机械加速度计
• 申请日： 1970-08-23
• 申请号/专利号： CN202010573949.6
• 专利权人： 加藤良隆;绀野彰;维莱-佩卡·吕特克宁
• 申请人： 株式会社村田制作所
• 分类号： G01P15/18
• 发明人/设计人： 加藤良隆;绀野彰;维莱-佩卡·吕特克宁
• 公开日/公告日： 1970.08.23
• 优先权号： G01P15/18
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明涉及电容式微机械加速度计，并且特别地涉及具有可移动的转子的加速度传感器，当加速度计以垂直于基板平面的加速度分量进行移动时，所述可移动的转子可以旋转离开基板平面。电容式微机械加速度计包括附加的阻尼弹簧以减少转子在基板平面中的不需要的移动，从而减小由转子在基板平面中的运动引起的寄生电容。阻尼弹簧相对于加速度计的其他部件竖直地凹入，以使阻尼弹簧对转子离开基板平面的运动的影响最小化。

摘要附图：