基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 硅微机械谐振式加速度计集成测控装置
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201610837700.5
• 专利权人： 夏国明;施芹;裘安萍;赵阳
• 申请人： 南京理工大学
• 分类号：
• 发明人/设计人： 夏国明;施芹;裘安萍;赵阳
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明公开一种硅微机械谐振式加速度计集成测控装置，包括第一振荡电路(302)、第二振荡电路(303)、第一频率测量电路(304)、第二频率测量电路(305)和SPI数字接口(306)；所述第一振荡电路(302)、第二振荡电路(303)，用于通过静电驱动、电容检测的方式控制微机械谐振梁在其谐振频率按照设定的位移保持等幅振动，所述第一频率测量电路(304)、第二频率测量电路(305)，用于测量振荡电路输出的模拟振荡信号的频率并以数字信号输出；所述SPI数字接口(306)，用于向嵌入式处理器(307)传输两路频率测量数字信号。本发明体积小、功耗低、噪声小。

摘要附图：