基本信息
摘要：一种谐振式微机械加速度计，包括基片、质量块、悬臂梁、杠杆放大机构、音叉、驱动电极、检测电极、齿枢和止挡。结构为轴对称图形，质量块呈“回”字型，质量块中间是杠杆放大机构、音叉、齿枢、悬臂梁和驱动电极、检测电极，质量块外围是止挡。发明中的“回”字型质量块设计能够使元件在有限体积下实现较大的质量块；谐振梁采用双端固定音叉的形式，并且两端通过细颈结构与外围连接，有效减小谐振梁和外围结构的能量耦合；以对称布置的两个音叉实现谐振频率的差动输出。本发明的结构形式提高了加速度计的灵敏度、分辨率，易于实现高精度的测量。
摘要附图：
