基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 一种电容式微机械加速度计
• 申请日： 1970-08-21
• 申请号/专利号： CN200610011959.0
• 专利权人： 任杰;樊尚春
• 申请人： 北京航空航天大学
• 分类号：
• 发明人/设计人： 任杰;樊尚春
• 公开日/公告日： 1970.08.21
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：电容式微机械加速度计包括基片、质量块、弹性支撑、驱动电极、检测电极、齿枢和止挡。结构为轴对称图形，质量块处于结构的四周，呈“回”字型。质量块中间含有两部分：一部分是弹性支撑，由两组折叠梁构成；另一部分是驱动电极和检测电极，以梳齿偏置结构构成差动电容。本发明能够在元件有限体积下实现较大的质量块，使加速度高效转化为惯性力，设计的弹性支撑结构和梳齿偏置式的静电驱动、电容检测提高了加速度计的灵敏度、分辨率，易于实现高精度的测量。

摘要附图：