基本信息
摘要：本实用新型公开了Z轴电容式微机械加速度计，属于微机械电子系统中的惯性传感器的技术领域，包括：玻璃基座，键合在玻璃基座上的扭转结构层，溅射在玻璃基座上的金电极层，扭转结构层包括结构相同四个子单元，任意三个子单元相当于另一个子单元按照顺时针方向或者逆时针方向分别旋转九十度、一百八十度、二百七十度得到。本实用新型通过减小检测电容极板正对面积与极板间距的比值来增大微机械加速度计的灵敏度，完全对称的扭转结构层使得结构共模抑制比大，减小了输出信号的零点偏移。
摘要附图：
