基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 硅微机械加速度计
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201410206166.9
• 专利权人： 刘云峰;董景新;陶永康
• 申请人： 清华大学
• 分类号：
• 发明人/设计人： 刘云峰;董景新;陶永康
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明提出一种硅微机械加速度计，包括：敏感装置、第一支撑梁、应力缓冲装置、第二支撑梁、键合锚区和基底，其中，敏感装置通过第一支撑梁与应力缓冲装置相连；应力缓冲装置通过第二支撑梁与键合锚区相连；键合锚区与基底键合连接。本发明提出的硅微机械加速度计能够降低传感器零位输出随环境温度和外界应力变化的漂移，提高硅微机械加速度计的综合精度和环境适应性。

摘要附图：