基本信息
摘要：Disclosed is a laminated structure for measuring the intensity of reflected light, which can determine the thickness of a surface adsorbed film or the like with higher sensitivity by a simple optical technique. Specifically disclosed is a laminated structure for measuring the intensity of reflected light at at least one wavelength, which comprises an optical interference layer comprising a valve metal such metal titanium; and a method for determining the thickness or mass of a thin film of interest, which comprises irradiating the thin film with light in the laminated structure, and measuring the change in the intensity of reflected light at at least one wavelength in a measurement medium, thereby determining the thickness and/or mass and/or viscosity of the thin film. L'invention porte sur une structure stratifiée pour la mesure de l'intensité d'une lumière réfléchie, qui peut déterminer l'épaisseur d'une surface de film adsorbé ou analogue à une sensibilité plus élevée par une technique optique simple. L'invention porte de manière spécifique sur une structure stratifiée pour la mesure de l'intensité d'une lumière réfléchie à au moins une longueur d'onde, laquelle structure comprend une couche d'interférence optique comprenant un métal de soupape tel que du titane métallique ; et sur un procédé de détermination de l'épaisseur ou de la masse d'un film mince d'intérêt, qui comprend l'irradiation du film mince avec une lumière dans la structure stratifiée, et la mesure du changement d'intensité de la lumière réfléchie à au moins une longueur d'onde dans un milieu de mesure, de façon à déterminer ainsi l'épaisseur et/ou la masse et/ou la viscosité du film mince.
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