基本信息
摘要:Disclosed is a system for measuring the contour of a curved surface of a transparent or semi-transparent material. The system comprises: an illumination device for emitting an illuminating light beam in a wide spectrum band; a dispersive objective lens, which is located in an emergent light direction of the illuminating light beam and is used for dispersing and decomposing the transmitted illuminating light beam into a set of monochromatic light beams with a convergence point corresponding to a wavelength; a test material support member for fixing a transparent or semi-transparent curved surface test material; a spectral analysis device for receiving upper surface reflected light and lower surface reflected light, and measuring a spectral chromatic aberration between the upper surface reflected light and the lower surface reflected light; and a processor for receiving the spectral chromatic aberration, obtaining the thickness of a scanned position according to the spectral chromatic aberration, and determining the contour of the transparent or semi-transparent curved surface test material according to the thickness of two or more scanned positions. The system can accurately detect a contour without being affected by the light transmittance of a test material. La présente invention concerne un système de mesure du contour d'une surface incurvée d'un matériau transparent ou semi-transparent. Le système comprend : un dispositif d'éclairage servant à émettre un faisceau lumineux d'éclairage dans une large bande spectrale; une lentille d'objectif de dispersion, qui est située dans une direction de lumière émergente du faisceau lumineux d'éclairage et qui est utilisée pour disperser et décomposer le faisceau lumineux d'éclairage émis en un ensemble de faisceaux lumineux monochromatiques ayant un point de convergence correspondant à une longueur d'onde; un élément de support de matériau de test servant à fixer un matériau de test à surface incurvée transparent ou semi-transparent; un dispositif d'analyse spectrale servant à recevoir une lumière réfléchie de surface supérieure et une lumière réfléchie de surface inférieure, et à mesurer une aberration chromatique spectrale entre la lumière réfléchie de surface supérieure et la lumière réfléchie de surface inférieure; et un processeur servant à recevoir l'aberration chromatique spectrale, à obtenir l'épaisseur d'une position balayée en fonction de l'aberration chromatique spectrale, et à déterminer le contour du matériau de test à surface incurvée transparent ou semi-transparent en fonction de l'épaisseur de deux ou plus de deux positions balayées. Le système peut détecter avec précision un contour sans être affecté par le facteur de transmission lumineuse d'un matériau de test. 本发明公开了一种透明或半透明材料曲面轮廓检测系统,包括:照明装置,用于出射宽谱段的照明光束;位于所述照明光束的出光方向上的色散物镜,用于将透射的照明光束色散分解为汇聚点与波长对应的单色光束的集合;检材支撑件,用于固定透明或半透明曲面检材;光谱分析装置,用于接收所述上表面反射光和下表面反射光,检测所述上表面反射光和下表面反射光的光谱色差;处理器,用于接收所述光谱色差,根据所述光谱色差得到所述扫描位置的厚度,根据两个或两个以上的扫描位置的厚度确定所述透明或半透明曲面检材的轮廓。上述系统能够不受检材透光性的影响,准确检测轮廓。
摘要附图: