基本信息
摘要：The present invention relates to a method to inject an electrodeless charge to analyze an electronic material, and an electronic material analysis method using the same. According to the present invention, one metal electrode is omitted, an external electron or light is irradiated on a surface of a specimen to inject an electric charge and apply voltage inside the specimen, and phase transition induced with a current and the applied voltage generated by irradiation of the electron or light; thereby measuring the phase transition to analyze an electronic material, and being able to omit the metal electrode and realize a non-destructive spectroscopic and scattering experiment. While, a metal electrode formation process including a patterning process is necessarily required to analyze an I-V characteristic of a phase transition material in an existing method, the I-V characteristic of the material is able to promptly be confirmed in a thin film form; thereby being able to remarkably reduce process expenses and related efforts to form a metal electrode. Moreover, a current due to an electron or a hole is able to be controlled; thereby providing an opportunity capable of researching a current and a related effect in accordance with an electric charge carrier type, and moreover, excluding unnecessary additional effect (interface effect) caused from imperfectness of a metal/material interface in an I-V characteristic analysis using the metal electrode. 본 발명은 전자 소재 분석을 위한 무전극 전하 주입방법 및 이를 이용한 전자 소재 분석방법에 관한 것으로, 한쪽 금속전극을 생략하고 외부 전자 또는 빛을 시료 표면에 조사하여 전하를 주입시키고, 시료 내부에 전압을 인가하고, 전자 또는 빛의 조사에 의해 발생된 전류 및 인가 전압을 이용해 상전이를 유도하여 상전이를 측정하여 전자 소재를 분석함으로써 금속전극 생략 및 비파괴 분광 및 산란 실험을 가능하게 하고, 기존에 상전이 소재의 I-V 특성을 분석하기 위해서는 패터닝 공정을 포함하는 금속전극 형성과정이 반드시 필요하였으나 본 발명의 방법을 이용하면 소재가 박막형태에서 바로 I-V특성을 확인해 볼 수 있어서 금속전극 형성을 위한 공정비용과 관련 노력을 획기적으로 줄일 수 있으며, 전자 또는 전공에 의한 전류를 제어할 수 있어서 전하수송자의 종류에 따른 전류 및 관련 현상을 탐구할 수 있는 기회를 제공할 뿐만 아니라 금속전극을 이용한 I-V특성 분석에서 금속/소재 계면의 불완전성에 기인한 불필요한 부가 효과(계면효과)를 배제할 수 있는 각별한 장점이 있는 유용한 발명이다.
摘要附图：
