基本信息
摘要：Continuous on-line thin film measurements employ a sensor having a spectrometer for interferometric measurements and a stack of single channel detectors for adsorption measurements. The stack is separated from the spectrometer, which analyzes radiation that emerges (transmitted pass or reflected from) the film, whereas the stack analyzes radiation that has passed through the film multiple times. The spectrometer is (i) positioned directly opposite the source of radiation so that it detects transmitted radiation or (ii) disposed on the same side of the film as is the source of radiation so that the spectrometer detects radiation that is specularly reflected from the film. The sensor includes a broadband radiation source emitting visible to far infrared light which propagates through a measurement cell defined by reflective surfaces exhibiting Lambertian-type scattering. The sensor is capable of measuring thin plastic films with thicknesses down to 1 micron or less. La présente invention concerne des mesures de film mince en ligne et en continu utilisant un capteur ayant un spectromètre pour des mesures interférométriques et un empilement de détecteurs à canal unique pour des mesures d'adsorption. L'empilement est séparé du spectromètre, lequel analyse un rayonnement qui émerge du film (transmis devant ou réfléchi depuis celui-ci), tandis que l'empilement analyse le rayonnement qui est passé à travers le film de multiples fois. Le spectromètre est (i) positionné directement à l'opposé de la source de rayonnement, de sorte qu'il détecte un rayonnement transmis ou (ii) disposé du même côté du film comme l'est la source de rayonnement, de sorte que le spectromètre détecte le rayonnement qui est réfléchi de manière spéculaire depuis le film. Le capteur comprend une source de rayonnement à large bande émettant une lumière visible à infrarouge lointain qui se propage à travers une cellule de mesure définie par des surfaces réfléchissantes présentant une diffusion de type Lambertien. Le capteur est capable de mesurer des films minces en plastique présentant des épaisseurs jusqu'à 1 micromètre ou moins.
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