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4931件专利文献

【发明专利】 一种微电子机械系统的电容式气压传感器

申请号:CN201310296888.3 申请日:1970-08-22
公开/公告号:CN103344377B 公开/公告日:1970-08-22
申请人:东南大学 发明人:聂萌;黄庆安
代理人: 分类号:
机构代理:
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本发明公开了一种微电子机械系统的电容式气压传感器,包括衬底、键合层、电容下极板、电容上极板、绝缘层、加热电阻条、上电极电引出、下电极电引出和两个加热电阻条电引出,衬底的底面设有真空腔,电容下极板固定连接在键合层的上表面,且电容下极板位于真空腔中,位于真空腔顶面正上方的衬底为电容上极板,绝缘层固定连接在衬底的上表面,加热电阻条固定连接在绝缘层的上表面,两个加热电阻条电引出固定连接在衬底的上表面,且每个加热电阻条电引出和加热电阻条的一端连接;上电极电引出和下电极电引出分别位于衬底上。该气压传感器解决了测量线性度与灵敏度相互制约的技术难点,可以适用于多种不同量程气压的测量与采集。

【实用新型】 一种粘度计数字温度测量电路

申请号:CN201020165802.5 申请日:1970-08-21
公开/公告号:CN201653852U 公开/公告日:1970-08-21
申请人:上海精密科学仪器有限公司 发明人:吴亚锋;陈文亮
代理人: 分类号:G01N11/00
机构代理:
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本实用新型公开了一种粘度计数字温度测量电路,由电平转换部分、中央处理主机和温度采集部分三部分组成;电平转换部分完成将微控制器的TTL电平转换为RS-485电平的功能;中央处理主机由微控制器(MCU)负责将采集到的温度信号实时储存下来供外部调取;温度采集部分由温度传感器和工作电源组成,用于采集被测液体试样的温度,并将温度信号输出到中央处理主机;温度传感器采用DS18B20芯片,其测量范围宽(-55℃~+125℃),并使温度测量精度由国际上广泛采用的±0.1℃提高到±0.0625℃。本实用新型具有设计结构简单,操作维护简便,性价比高的优点,无需人工干预,大大减轻了操作人员的劳动强度。

【实用新型】 用于质量流量计的缓冲分流器、质量流量计和测量系统

申请号:CN201921831105.6 申请日:1970-08-23
公开/公告号:CN211576268U 公开/公告日:1970-08-23
申请人:上海洛丁森工业自动化设备有限公司;浙江洛丁森智能科技有限公司 发明人:李俊毅;李卫民;汤俐敏;王徐坚;郝正宏
代理人: 分类号:G01F15/10
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本实用新型涉及用于质量流量计的缓冲分流器、质量流量计和测量系统。所述缓冲分流器被布置在质量流量计的流体入口和/或流体出口处,并且设置有供流体穿过的直线管道区段,所述直线管道区段的至少一部分的外壁和/或内壁上设置有用于降低流体冲击振动的缓冲部。采用本实用新型可以显著减少甚至消除来自外部应力、振动或冲击等干扰因素,从而能够有效提高测量精度和可靠性,解决了现有的流量测量设备中普通存在的零位漂移、测量稳定性和可靠性不佳等问题。

【实用新型】 一种石英挠性加速度计数字输出伺服电路

申请号:CN201920553001.7 申请日:1970-08-23
公开/公告号:CN209656731U 公开/公告日:1970-08-23
申请人:青岛航天半导体研究所有限公司 发明人:刘振兴;刘本勇;彭建学;高尚
代理人: 分类号:
机构代理:
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一种石英挠性加速度计数字输出伺服电路,包括表头、伺服放大器、双路稳压电路、反馈阻容网络、跨导补偿放大器、电阻采样、低通滤波、电位平移、A/D采样、I2C总线接口、温度采样;表头包括力矩器组件、差动电容组件,伺服放大器包括前置变换放大器、跨导补偿放大器、反馈阻容网络、双路稳压电路,前置变换放大器包括三角波发生器、差动电容检测器、电流积分器、运算放大器,三角波发生器包括偏置电路、恒流源及其转换电路、输出电路。其优点是:实现了将电容信号转换为数字信号输出;提高了加速度计测量精度,减小了系统的体积;本实用新型在石油钻井、隧道开凿、精密惯性定位测量方面的需求量逐年增加,随着市场的进一步开拓,需求量将不断增加,具有十分广阔的市场前景。

【发明专利】 磁感应流量计

申请号:CN201980077486.X 申请日:1970-08-23
公开/公告号:CN113167613A 公开/公告日:1970-08-23
申请人:恩德斯+豪斯流量技术股份有限公司 发明人:西蒙·玛利亚格
代理人: 分类号:
机构代理:
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本发明涉及一种磁感应流量计,其包括:测量管;用于在介质中产生基本上垂直于纵向方向延伸的磁场的至少一个磁场产生装置,其中磁场产生装置具有极靴,其中极靴在测量管的横截面中以最大中心角(β)对向测量管;以及,与介质形成电流接触的至少两个测量电极构件,其中,测量电极构件被实施为条形和圆弧形,并且分别形成在测量管的横截面中以中心角(α)对向的圆弧长度(l),其特征在于,中心角(α)和(β)相对于彼此适配,使得流量计对从旋转对称流量的偏离总体上不敏感,使得磁感应流量计在测试测量中具有小于1.0%,尤其地小于0.5%,并且优选地小于0.2%的流速的测量误差和/或体积流量的测量误差。

【发明专利】 磁感应流量计

申请号:CN201780040318.4 申请日:1970-08-22
公开/公告号:CN109416268B 公开/公告日:1970-08-23
申请人:西门子股份公司 发明人:尼尔斯·佩尔·蒙德鲁普;索恩努尔·伊西克-乌彭坎普
代理人: 分类号:
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本发明涉及一种具有电极装置(A、C、R)的磁感应流量计,用于电接触地检测与介质的流动速度相关的、在测量路线(D)上感生的电压。为了抑制噪声,在操控和评估装置(4)中执行信号处理,其中分别检测在第一电极(A)与参考电势(R)之间的第一电压信号和在第二电极(C)与参考电势(R)之间的第二电压信号(EC)并且为了获得包含在其中的噪声信号(ENA、ENC)而进行滤波。第一电压信号(EA)和第二电压信号(EC)与第二噪声信号(ENC)或第一噪声信号(ENA)相加,以形成两个加和信号(E'A、E'C),它们的差(ΔE'A,C)对应于在测量路线(D)上感生的电压。由此,能够从测量信号中尽可能地消除噪声份额,该噪声份额例如由于介质中的气泡或电化学效应引发。

【发明专利】 一种加速度计及其制造工艺

申请号:CN201210356542.3 申请日:1970-08-22
公开/公告号:CN103675345B 公开/公告日:1970-08-22
申请人:中国科学院地质与地球物理研究所 发明人:于连忠;俞度立;杨长春
代理人: 分类号:G01P15/125
机构代理:
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一种加速度计,包括:测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片;所述测量体包括框架、位于所述框架内的弹性梁和质量块;所述质量块与所述框架通过多组所述弹性梁相连接,每组所述弹性梁包括两根弹性折叠梁,所述弹性折叠梁以所述质量块的中线为轴对称设置;每组所述弹性折叠梁之间通过一连接臂相互连接。所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本发明的加速度计结构具有极大的模态隔离比值,进一步降低了MEMS芯片的噪声。为此,本加速度计具有检测精确度高、稳定性强、噪声低等优点。

【发明专利】 一种基于扭摆式结构的隧道磁阻式微加速度计装置

申请号:CN201811148682.5 申请日:1970-08-22
公开/公告号:CN109142786B 公开/公告日:1970-08-23
申请人:东南大学 发明人:李成;杨波;王斌龙;高小勇
代理人: 分类号:G01P15/105
机构代理:
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本发明公开了一种基于扭摆式结构的隧道磁阻式微加速度计装置,该加速度计装置主要由顶层隧道磁阻传感器元件检测结构、中间层硅微机械结构、底层布有电极的玻璃衬底结构构成。顶层结构和中间层结构通过锚点键合在底层结构之上,从而构成统一整体。中间层外部质量块在外界输入加速度的作用下运动,带动内部质量块和磁片的扭摆。通过顶层隧道磁阻传感器检测磁片形成磁场的变化反应外界输入加速度的变化。本发明提出的隧道磁阻微加速度计装置结构简单、易于加工,具有线性度好、灵敏度高、检测精度高、测量量程宽等诸多优点。