一种挠性摆式加速度计，包括壳体、挠性杆、力矩器动圈、由轭铁和永久磁铁组成的力矩器定子、由信号传感器动圈和信号传感器定子组成的信号传感器、三角形摆片和伺服放大器，壳体内充满阻尼液体，三角形摆片、力矩器动圈与信号传感器动圈组成摆组件，挠性杆使摆组件与仪表壳体弹性连接，力矩器定子和力矩器动圈构成力矩器。本发明由于采用挠性支承方式，与传统宝石轴承支承方式相比消除了轴尖和宝石轴承所带来的库伦摩擦力，同时挠性支承在加速度计的敏感方向上的刚度很小，而在其他方向上的刚度则很大，提高了仪表测量精度及抗振和抗冲击的能力，采用液体作为阻尼，相比采用空气阻尼的石英挠性摆式加速度计，具有较好的过载能力和抗冲击能力。

本发明涉及一种基于氧化石墨烯的温湿度传感器，包括：衬底；以及并列设置于所述衬底上的第一测量单元和第二测量单元；所述第一测量单元包括设置在所述衬底表面的第一电极和覆盖所述第一电极的第一温湿度感应层；所述第二测量单元包括设置于所述衬底表面的第二电极、覆盖所述第二电极的第二温湿度感应层和覆盖所述第二温湿度感应层的阻水膜；其中，所述第一温湿度感应层和所述第二温湿度感应层均为含氧化石墨烯的温湿度感应层。上述温湿度传感器能够实现温度和湿度的同时测量。本发明还涉及一种基于氧化石墨烯的温湿度传感器的制备方法和温湿度测量系统。

本发明涉及一种基于氧化石墨烯的温湿度传感器，包括：衬底；以及并列设置于所述衬底上的第一测量单元和第二测量单元；所述第一测量单元包括设置在所述衬底表面的第一电极和覆盖所述第一电极的第一温湿度感应层；所述第二测量单元包括设置于所述衬底表面的第二电极、覆盖所述第二电极的第二温湿度感应层和覆盖所述第二温湿度感应层的阻水膜；其中，所述第一温湿度感应层和所述第二温湿度感应层均为含氧化石墨烯的温湿度感应层。上述温湿度传感器能够实现温度和湿度的同时测量。本发明还涉及一种基于氧化石墨烯的温湿度传感器的制备方法和温湿度测量系统。

本发明涉及一种线加速度计的离心加速度场翻滚校准方法，属于线加速度计的校准方法领域。本发明解决现有方法不能在大于1g(1g＝9.8m/s²)的大加速度下获得加速度计的安装误差、交叉耦合系数等模型方程系数，影响加速度测量精度的问题。本发明采用双离心机，由主离心机分别产生大于1g的覆盖加速度计全量程的多个加速度点；由从离心机带动加速度计，分别在每个加速度点进行十二位置翻滚运动。通过数据处理，分别获得每个加速度点的安装误差、交叉耦合系数等。在加速度计全量程内，对在多个加速度点校准获得的安装误差、交叉耦合系数等分别进行曲线拟合。模型方程系数的拟合值对模型方程进行修正后，能提高加速度计在全量程内的测量精度。

本发明公开了一种组合铂膜气体流量测量方法及流量计。采用检测杆从直径方向插入到测量管道中，检测杆上固定安装有一个或多个均集成了一个流量探头和一个温度探头组合的铂膜探头，每个探头可同时感受气体的流量和温度信号。将流量和温度信号采集并经数据处理后可得气体的质量流量，实现流量值和温度值的显示和远程发送。组合铂膜气体流量计具有结构简单，投入费用低，精度高，压损小，量程比宽(可达100倍左右)，流量下限几乎为零等特点。在气体流量检测仪表中目前尚无结构如此简洁而综合性能极佳的流量仪表，经济效益非常明显。仪表具有一体化结构，具有流量和温度等多参数测量功能。

一种新颖且有用的压力传感器阵列包括由作为衬底的导电膜构成的传感器元件。市售的导电(即压阻式)膜的示例包括Velostat和Linqstat。可穿戴设备被描述成包括具有柔性特性的压力传感器阵列和在传感器元件与用户皮肤之间的生物相容性材料界面。该压力传感器阵列使用导电膜作为衬底，并以合适的构造放置一对导体以形成单独的传感器元件。当向导电膜施加压力时，传感器元件检测导电膜的电阻的变化。传感器元件可以以交叉指型或相对的构造实现。传感器阵列还包括在传感器元件的顶部上的用于将施加的压力传递或聚焦到导电膜的机械界面。

本实用新型涉及一种压差式液体流量计。包括有测量装置、压差传感器和设置在管道内的压差件，管道内设有一个传压接头，压差传感器以密封方式装设在该传压接头内的一个腔体内，将腔体分为高压腔和低压腔，高、低压腔分别与压差传感器的高压侧和低压侧连通，压差信号传送至测量装置转换为与其相应关系的电信号，经电路处理，可自动存储或直接显示被测液体的流量值。本实用新型适用性强，使用简便，测量精确，自动化程度高。

一种微机电系统芯片(MEMS芯片)，用于测量压力腔(D)中的压力，该微机电系统芯片包括MEMS衬底(30)和载体衬底(31)，MEMS衬底和载体衬底平面地以彼此叠置方式接合，其中，MEMS芯片(3)设计成棒形并具有带电子机械式测量装置的测量区域(4)，接下来具有套管区域(11)，接下来具有通过线路(8)与测量区域(4)连接的、带触点(16)的接触区域(6)，并且其中，MEMS芯片(3)在套管区域(11)中适用于密封地布置在套管部中。根据本发明，这样地设计电子机械式测量装置，其方式是，MEMS衬底(30)具有形成盲孔的空腔(5)，盲孔的边缘构成MEMS衬底(30)中的膜片(7)并且由压阻元件(2)构成的测量桥(19)布置在该膜片(7)的背离空腔(5)的侧上。MEMS衬底(30)以空腔(5)的面朝载体衬底(31)的侧接合到载体衬底(31)上，使得载体衬底(31)构成膜片(7)下方形成的空腔(5)的底壁(50)。